?花籃/片盒清洗機-華林科納CSE
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完美適應當前所有型號的花籃和片盒、傳輸片盒、前端開口片盒
（Foup片盒）的清洗和干燥系統
優點
裝載晶圓直徑至200mm的花籃和片盒—或不同晶圓尺寸的花籃和片盒，同時可裝載晶圓直徑至300mm的前端開口片盒（Foup片盒）
三種設備尺寸滿足客戶特殊需求
> CleanStep I – 用于4組花籃和片盒
加載和清洗能力：每次4組花籃和片盒
清洗產能：每小時12組花籃和片盒
> CleanStep II – 用于8組花籃和片盒
加載和清洗能力：每次8組花籃和片盒
清洗產能：每小時24組花籃和片盒
> CleanStep III – 用于6組前端開口片盒（Foup）
加載和清洗能力：每次6組前端開口片盒（Foup片盒）
清洗產能：每小時18組前端開口片盒（Foup片盒）
> 適用于晶圓直徑至200mm的花籃和片盒的標準旋轉籠
(Cleanstep I/II)
> 適用于所有片盒一次清洗過程
> 或是同時4組花籃和片盒，或是12個花籃(Cleanstep I/II)
> 簡單快捷的對不同尺寸的片盒和花籃進行切換
> 旋轉籠內的可旋轉載體方便加載或卸載花籃和片盒
> 通過控制系統對自鎖裝置的檢測，達到安全加載片盒和花
籃，及其運行
特征和優點
可應用不同化學品（稀釋劑）來清洗
> 泵傳輸清洗液
> 計量調整可通過軟件設置控制操作
熱水噴淋裝置
> 熱水一般由廠務供應 — 標準化
> 或有一個體積約100升的熱水預備槽（循環泵和加熱棒用于熱水預備槽—選項）
?籠子
> 帶有可變速旋轉的控制的高扭矩伺服電機（按照加載量和設備配置，最大旋轉速度200rpm,）
> 旋轉的不銹鋼籠子
> 會自動停止工作（運行過程中出現失衡狀態時）
熱空氣干燥
> 頂端吹下熱空氣
> 采用根據設備待機和工藝運行模式的可調風量的風扇裝置
> 不銹鋼架上裝有加熱器，可以溫度控制
> 軟件監控溫度
> 帶有反壓控制的高效過濾器
輔助功能和操作控制
> 觸摸屏安裝在前面—標準化
> 也可以通過安裝第二個觸摸屏在背面進行控制—選項
其他特征
> 工藝腔室內LED燈光照明
> 可安裝去靜電裝置和電阻率監測裝置——選項
> 穩定、亞光不銹鋼籠子
> 材料的外殼—可選擇符合FM4910標準
> PP材料的工藝腔室—可選擇符合FM4910標準
> 設備前面帶有滑動門—標準化為手動/可選擇自動
> 設備前面的滑動門在做維護時可完全打開
> 其他種類的花籃和片盒相適應的組件—選項
圖形化的界面
> 易于操作和控制
> 10“觸摸屏PLC控制器
> SECSII GEM接口—選項
> 授權訪問的密碼保護
> 可以編輯40多個菜單，每個菜單可有50步
> 可變量數據輸入（時間、溫度、速度等）
> 設備背面安裝第二個觸摸屏—選項
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